等離子廢氣凈化器主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質(zhì)齒板放電裝置，頂部放電形式產(chǎn)生離子。等離子體是一種聚集態(tài)物質(zhì)，其所擁有的電子能在毫秒級的時間內(nèi)，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發(fā)生一系列分化裂解反應(yīng)，產(chǎn)生的活性自由基和各種電子、離子等，在與機廢氣中的分子碰撞時會發(fā)生一系列基元物化反應(yīng)，并在反應(yīng)過程中產(chǎn)生多種活性自由基和生態(tài)氧，即臭氧分解而產(chǎn)生的原子氧。

活性自由基可以破壞各種病毒中的核酸，蛋白質(zhì)，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態(tài)氧能將廢氣分子等離子體中包含大量的電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，同時產(chǎn)生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性的O3，能與氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成產(chǎn)物。